低釋氣庫板
發(fā)布日期：2021-12-03????瀏覽次數：84
鑒于國內半導體不斷往納米微小化發(fā)展，潔凈車(chē)間對環(huán)境中氣態(tài)分子污染的要求不斷提高，低釋氣材料的適當替代遂成為建廠(chǎng)過(guò)程中的重要工程關(guān)鍵考慮。
為能更有效掌握質(zhì)量與交貨期，公司于2018年在新興企業(yè)研發(fā)立項的專(zhuān)用資金支持下，展開(kāi)低釋氣庫板開(kāi)發(fā)，成功通ASTM測試，于2019年完成低釋氣庫板開(kāi)發(fā) 。和已實(shí)際投入的工程改造高端浸潤式曝光機潔凈車(chē)間，高端半導體光阻生產(chǎn)車(chē)間等，獲得客戶(hù)廣泛認可。
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